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      五金蝕刻機(jī)和光刻機(jī)有什么區(qū)別

      發(fā)表時(shí)間:2019-11-06 14:30:55
      五金蝕刻機(jī)和光刻機(jī)的區(qū)別:光刻機(jī)把圖案印上去,然后刻蝕機(jī)根據(jù)印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒有圖案)的部分,留下剩余的部分。五金蝕刻機(jī)刻蝕相對(duì)光刻要容易。如果把在硅晶體上的施工比成木匠活的話,光刻機(jī)的作用相當(dāng)于木匠在木料上用墨斗劃線,刻蝕機(jī)的作用相當(dāng)于木匠在木料上用鋸子、鑿子、斧子、刨子等施工。蝕刻機(jī)和光刻機(jī)性質(zhì)一樣,但精度要求是天壤之別。木匠做細(xì)活,一般精確到毫米就行。做芯片用的刻蝕機(jī)和光刻機(jī),要精確到納米。現(xiàn)在的手機(jī)芯片,如海思麒麟970,高通驍龍845都是臺(tái)積電的10納米技術(shù)。10納米有多小呢?打個(gè)比方。如果把一根直徑是0.05毫米頭發(fā)絲,按軸向平均剖成5000片,每片的厚度大約就是10納米?,F(xiàn)在世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭的ASML公司,最小到10納米。臺(tái)積電買的都是它的光刻機(jī)。ASML公司實(shí)際上是美國(guó)、荷蘭、德國(guó)等多個(gè)國(guó)家技術(shù)合作的結(jié)果。因?yàn)檫@方面的研究難度太大,單個(gè)國(guó)家完成不了。除了ASML,世界上只有我們還在高端光刻機(jī)上努力研發(fā)。

      我們是受到技術(shù)禁運(yùn)的,不能買他最先進(jìn)的產(chǎn)品,國(guó)內(nèi)上海量產(chǎn)的是90納米的光刻機(jī)。技術(shù)上有差距。2017年,長(zhǎng)春光機(jī)所“極紫外光”技術(shù)獲得突破,預(yù)計(jì)能達(dá)到22-32納米,技術(shù)差距縮小了。

      我相信,不久的將來,我們的科技人員一定能研制出世界一流的光刻機(jī),不再被卡脖子。核心技術(shù)、關(guān)鍵技術(shù)、國(guó)之重器必須立足于自己??萍嫉墓リP(guān)要摒棄幻想,靠我們自己。

      我們五金蝕刻技術(shù)已經(jīng)突破,5納米的刻蝕機(jī)我們也能自主生產(chǎn),現(xiàn)在卡脖子的是光刻機(jī)。在芯片加工過程中,光刻機(jī)放樣,刻蝕機(jī)施工,清洗機(jī)清洗。然后反復(fù)循環(huán)幾十次,一般要500道左右的工序,芯片——也就是晶體管的集成電路才能完成。放樣達(dá)不到精度,刻蝕機(jī)就失去用武之地了。


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